鍍膜工藝
標準磁控濺射,另外可提供電子束蒸發(fā);
金屬鍍膜材料
Au金、Pt鉑、Ag銀、Al鋁、Ni鎳、Ti鈦、Cr鉻、Cu銅等;
鍍膜基底
硅片、石英玻璃、藍寶石片等;
鍍膜厚度
15 nm - 1000 nm,或者更厚;
基底尺寸
6英寸向下兼容,部分8英寸和12英寸;
標準結(jié)構(gòu)
基底~粘結(jié)層~金屬層;
粗糙度
選用高平整度基底,鍍膜均勻性高,整體粗糙度好;
牢固性
超聲清洗,膜層不脫落。
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